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技(jì )術中(zhōng)心

石英坩埚中(zhōng)的羟基

2024-05-31 15:54:53
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石英坩埚中(zhōng)的羟基(圖1)

坩埚中(zhōng)的羟基(-OH)是對坩埚強度影響的核心因素,由于羟基的存在,改變了SiO2的鍵合結構,緻使坩埚的耐溫性能(néng)大幅降低,例如坩埚中(zhōng)的羟基含量超過150ppm,1050攝氏度就會開始軟化變形,無法正常使用(yòng)。

坩埚中(zhōng)的羟基含量主要與坩埚制備所選取的工(gōng)藝路線(xiàn)直接相關(其次與環境濕度以及原料選取等有(yǒu)關),我司的坩埚生産(chǎn)工(gōng)藝不會在生産(chǎn)過程中(zhōng)引入羟基,産(chǎn)品羟基含量平均值可(kě)達15ppm,坩埚可(kě)以滿足長(cháng)時間單晶拉制不變形。


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